AMPERTEC タンタル・ニオブ 塩化物粉末(TANIOBIS)

TANIOBIS社が製造・販売しておりますAMPERTEC タンタル・ニオブ 塩化物粉末についてご紹介いたします。

用途例

AMPERTEC塩化物粉末
マイクロプロセッサー
調光ガラス

ご採用のメリット

  • AMPERTECは5N(99.999%)レベルの高純度塩化物粉末です。
  • 粒径が大きいため、次のような特徴を有します。
    • ・流動性に優れる
    • ・超微粉が少ない
    • ・加水分解しにくい
    • ・経時変化しにくい

製品ラインアップ

TaCl5純度物理的特性
ハイエスト
ピュアリティーグレード
99.995%粒子直径:3mm以下
性  状:白色結晶
融  点:216℃
ハイ
ピュアリティーグレード
99.93%
半導体グレード99.999%
NbCl5純度物理的特性
ハイエスト
ピュアリティーグレード
99.995%粒子直径:3mm以下
性  状:黄色結晶
融  点:204℃
ハイ
ピュアリティーグレード
99.93%

各種塩化物 蒸気圧と温度の関係

シリコン上のTa層
純度物理的特性
WCl699.9%粒子直径:2mm以下
性  状:黒紫色結晶
融  点:282℃
MoCl599.9%粒子直径:2mm以下
性  状:黒色結晶
融  点:194℃

TaCl5, NbCl5は数種の純度をご用意しております。

応用例

  • CVD/ALD
  • 気相合成
  • ゾルゲル
  • 化学合成
  • 触媒

TANIOBIS社のご紹介

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