Pbフリー圧電素子向け
AlSc/KNNスパッタリング
ターゲット
用途例
ご採用のメリット
PZT(Pb-Zr-Ti)に替わるPbフリーの圧電MEMS向けに、AlSc、KNN(K-Na-Nb)ターゲットを開発中です。
- 従来からあるAlNに対し、AlScNは1桁高い圧電定数を期待できます。
- 既存のAlScターゲットと比較し、圧電特性に影響する酸素の含有量を大幅に低減しています。
- 最大約φ350㎜サイズの対応が可能です。
AlSc不純物分析結果（例）
| Sc組成(A) | Sc組成(B) | ||
|---|---|---|---|
| Na | <0.1 | <0.1 | ppm |
| K | <0.1 | <0.1 | ppm |
| Fe | 120 | 160 | ppm |
| Co | <1 | 1 | ppm |
| Ni | 30 | 27 | ppm |
| La | 1 | 2 | ppm |
| Ta | <500 | <500 | ppm |
| C | 30 | 30 | ppm |
| O | 490 | 490 | ppm |
| H | <10 | <10 | ppm |
- KNNは従来のPZT系圧電材料に匹敵する圧電特性を期待できます。
- 高密度で高速成膜可能なKNNターゲットを提供可能です。
- 最大約φ350㎜サイズの対応が可能です。
KNN不純物分析結果（例）
| Sc組成(B) | ||
|---|---|---|
| Li | <10 | ppm |
| Al | 200 | ppm |
| Ca | 20 | ppm |
| Mn | <10 | ppm |
| Fe | <10 | ppm |
| Co | <10 | ppm |
| Ni | <10 | ppm |
| Cu | <20 | ppm |
| Zr | <10 | ppm |
| C | 90 | ppm |
KNN成膜速度
1kWのパワーで3.0µm/hr以上の高速成膜が可能です。
AlSc・KNNの特性
Al-Sc合金の状態図
安定した品質のターゲットをご提供します。
KNbO3-NaNbO3系の状態図
