ITO・IZO・IGZO(ディスプレイ用),NS(光学膜用)
スパッタリングターゲット

用途例

「光」を扱うデバイスに用いるスパッタリングターゲットを幅広く取り揃えています。

ITO,IZO,IGZO(ディスプレイ用)ターゲット

特長

生産効率の改善が可能です。

  • 高密度(>99%):ノジュールの抑制
  • 大型少分割:パーティクルの抑制

製品ラインアップ

  • ITO(Indium-Tin-Oxide)
    透明導電膜
    微細粉末を原料とした超高密度ターゲットで、基板パーティクルの抑制を実現します。
  • IZO (Indium-Zinc-Oxide)
    透明導電膜
    当社独自の透明導電膜用ターゲットで、有機ELパネルの電極形成に最適です。
  • IGZO(Indium-Gallium-Zinc-Oxide)
    酸化物半導体膜
    高移動度膜形成用の酸化物半導体ターゲットで、大型基板に高速、安定的な成膜が可能です。
G8.5 IGZOターゲット

製品形状

円筒型・平板型ともにあらゆる形状を供給できます。

円筒型ターゲット 大型シリンダー

NS(光学膜用)ターゲット

特長

デバイスの高性能化が可能です。

  • 高透過:光取り出し効率改善
  • ハイバリア:長寿命化
  • DCスパッタ可:タクトタイム短縮

製品ラインアップ

様々な屈折率の製品群を揃えています。

材料設計

ご要望特性に合わせた『材料設計』を行います。

屈折率1.65 ~ 2.46 @550nm
透過率任意の値(吸収膜も可)
膜抵抗10E-1Ω・cm ~ 絶縁
膜質結晶膜 or アモルファス膜
 エッチング特性酸(アルカリ)に溶ける or 溶けない

スパッタとは?

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